에너지연, 반도체 결함 억제하는 '고순도 ND₃' 국산화...해외 시장 진출도 노린다

우리 연구진이 반도체 제조 공정에 쓰이는 고순도 중수소 암모니아(ND₃) 생산 기술을 국산화해 관련 산업화의 길을 열었다. 해외 시장 진출도 내다보고 있다. 한국에너지기술연구원(원장 이창근)은 윤형철 박사팀이 국내 최초로 ND₃ 생산 기술을 개발했다고 11일 밝혔다. ND₃는 암모니아(NH₃)의 수소(H)를 중수소(D)로 바꾼 물질이다. 반도체 제조 공정에서 반도체 소자 내 결함을 억제해 수요가 많다. 다만 그동안 국내 생산 기술·시설이 없어