햇빛만 비춰도 반도체 폐수 깨끗해져 …고효율 친환경 정화 기술 개발

켄텍·고려대 공동연구팀, 저온 플라즈마 공정 활용 친환경 광촉매 합성 성공 한국에너지공과대학교(이하 켄텍 )는 서동한 교수 연구팀이 김영진 고려대 교수 연구팀과 함께 반도체 제조 공정에서 발생하는 맹독성 폐수를 친환경적으로 처리할 수 있는 고효율 광촉매 기술을 개발했다고 18일 밝혔다. 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필수적으로 쓰이는 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 (TMAH)는 수생태계와 인체에 신경독성을 유발하는 화학물질이다. 기존 화학적·생물학적 폐수 처리 방식은 막대한 에너지가 소모되거나 고농도의 2차 슬러지가 발생하는 등 현장 적용에 한계가 있었다....