종합
이데일리
2026-07-27T21:52:09
中, 이머전 DUV 노광장비 자체 생산 본격화…"반도체 자립 전환점"(종합)
원문 보기중국이 자체 개발한 이머전(Immersion·침지) 방식 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 돌입한 것으로 알려졌다. 미국과 네덜란드의 대중 반도체 장비 수출 규제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 확보가 사실상 막힌 가운데 중국이 독자적인 노광장비 생산 체계를 구축하기 시작했다는 점에서 반도체 자립 전략의 중요한 분기점이 될 수 있다는 평가가 나온다.A...