中 국영기업 DUV 노광장비 자체생산…ASML EUV 철옹성 균열 내나

[차이나테크] 중국이 침지형 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 착수하면서 네덜란드 ASML이 오랜 기간 독점해 온 노광장비 시장에 균열을 낼지 주목된다. 29일(현지시간) 블룸버그통신은 중국 상하이 소재 국영기업이 침지형(Immersion) DUV 노광장비 생산을 시작하자 이번 기술적 도약은 중국이 외부의 예상보다 빠른 속도로 발전하고 있음을 의미한다 고 보도했다. 해당 국영기업은 올해 생산되는 장비 약 5대를 중국 최대 파운드리 업체 SMIC와 화훙반도체, CXMT 등에 공급할 예정이다. 내년에는 생산량을 약 20대로 늘릴 방침이다....