머리카락보다 작은 ‘빛의 귀’…공기 속 초음파 잡았다

머리카락 굵기보다 작은 센서가 물체에 닿지 않고 공기를 타고 전달되는 고주파 초음파를 감지하는 기술이 개발됐다. 반도체와 이차전지를 분해하거나 표면에 젤을 바르지 않고도 내부의 미세한 결함을 찾아내는 비접촉 검사 기술로 활용될 가능성이 주목된다.대구경북과학기술원(DGIST)은 로봇및기계전자공학과 한상윤·유재석 교수 공동 연구팀이 반도체 제조 공정을 이용한...