‘반도체 공정 핵심’ EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다

‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부개정안 의결“해외 기관 검사비용도 장비당 약 5억원 절감”반도체 제조용 극자외선(EUV) 노광 장비. 산업통상부 제공극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광 장비는 첨단 반도체 제조의 핵심 장비로 불린다. 네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광 장비를 공급받기 위해 수많은···