CNT 펠리클 어썸레이, 75억 투자유치… 양산 본격화

[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 ‘데이터랩’에서 볼 수 있습니다.] 탄소나노튜브(CNT) 기반 소재 스타트업 어썸레이가 75억원 규모의 시리즈B 브릿지 투자를 유치했다고 10일 밝혔다. 어썸레이는 이번 투자유치를 기반으로 경기도 안양시에 구축한 EUV(극자외선) 펠리클에 사용될 CNT 멤브레인 용 클린룸 생산라인을 토대로 본격적인 공급에 나선다는 계획이다. 어썸레이는 CNT로 펠리클용 멤브레인을 개발하고 있다. 펠리클은 반도체 제조공정에서 EUV 장비를 사용할 때 마스크의 웨이퍼 손상을 막는 부품이다. 이전까지 펠리클은 실리콘카바이드 등을 사용한 멤브레인으로 대부분 만들어졌지만, EUV 출력이 높아지면서 내구성·내열성이 높은 CNT가 차세대 펠리클용 멤브레인 소재로 주목받고 있다....