“빛만으로 반도체 성능 63배 높였다”...DGIST, 마이크로렌즈 기반 초고해상도 광도핑 기술 개발

디지스트(DGIST·총장 이건우)는 권혁준 전기전자컴퓨터공학과 교수 연구팀이 빛을 이용해 2차원(2D) 반도체의 전기적 성질을 정밀하게 제어할 수 있는 새로운 광 도핑 기술을 개발했다고 20일 밝혔다. 이번 연구는 차세대 초소형·고집적 반도체 구현에 필요한 핵심 공정 기술로, 향후 2D 반도체 기반 CMOS 및 3차원 반도체 소자 개발에 기여할 것으로 기대된다. 2D 반도체는 원자 몇 층 수준의 매우 얇은 두께에서도 우수한 전기적 특성을 보여