EUV 대체장비 양산…中 반도체 자립속도

중국이 자체 개발한 이머전(Immersion·침지) 방식 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 돌입한 것으로 알려졌다. 미국의 대중 수출 규제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 확보가 막힌 만큼 중국이 이를 우회해 반도체 자립의 신호탄을 쏘았다는 평가가 나온다.(그래픽=이데일리 김일환 기자)28일 기술 매체 디인포메이션과 업계 등에 따르면 중국 상하이의 한...