美 “中에 EUV 장비 반입 우려” 제기…ASML, 강력 부인

미국 도널드 트럼프 행정부가 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML에 중국 내 EUV(극자외선) 노광장비 불법 반입 의혹을 제기하며 압박에 나섰다.19일(현지시각) 블룸버그통신에 따르면, 최근 하워드 러트닉 미국 상무장관은 ASML 고위 경영진과의 회의에서 ASML의 최첨단 EUV 장비가 대(對)중국 수출 제한 조치를 위반하고 중국으로 유입됐을 가능성에 대한 우려를 전달했다. EUV 장비는 7나노 이하 초미세 공정에 필수적인 핵심 장비다. ASML은 규정에 따라 중국에 해당 장비를 단 한 대도 수출한 적이 없다는 입장을 고수해왔다.AS