에어퍼스트, 반도체용 ASU 국산화 착수… 국내 환경에 최적화

산업가스 전문기업 에어퍼스트의 100% 자회사 AF E C가 국내 반도체 제조 환경에 최적화한 공기분리장치(ASU) 국산화를 추진한다. 해외 기술을 기반으로 상세 설계와 엔지니어링 역량을 내재화해 반도체용 초고순도 질소 생산설비 공급망을 강화한다는 전략이다. 6일 AF E C는 중국의 고순도 질소 설비 전문기업 광강가스엔지니어링(Guanggang Gases Engineering·G-gas)과 반도체용 ASU 공동 개발을 위한 전략적 업무협약(MOU)을 체결했다. 양사는 G-gas의 독자적인 Super-N 기술과 기본 설계를 바탕으로 AF E C의 ASU 엔지니어링과 EPC(설계·조달·시공) 역량을 결합해 초고순도 질소 생산·공급 설비를 공동 개발하고 국내 시장에 사업화할 방침이다....