독일 기술 없인 첨단 반도체 못 만든다

지난 15일(현지 시각) 독일 남부 슈투트가르트 인근 디칭겐에 있는 레이저 기업 트럼프(TRUMPF)의 클린룸. 사람 키만 한 금속 프레임 안에 형형색색의 전선들이 혈관처럼 복잡하게 얽혔다. 회로 선폭 5나노 이하 첨단 반도체 제조에 필수적인 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광 장비용 레이저 모듈이다. 이 모듈에서 생성된 레이저는 4단계를 거쳐 30kW(킬로와트)의 초고출력으로 증폭되고, 노광 장비 안에서 미세한 주석 방울을 때려 EUV를 만든다. 이 빛이 반도체 웨이퍼 위에 초미세 회로를 새긴다. 삼성전자·SK하이닉스·TSMC 등이 이런 식으로 최첨단 반도체를 만든다. 트럼프는 ASML에 이 레이저 장비를 독점 공급한다.