에기평, '에너지 수요관리 기술' 개발 기업 방문…협력 논의

[세종=뉴시스]이수정 기자 = 한국에너지기술평가원(에기평)은 전날 에기평이 지원하는 에너지 수요 관리 기술 개발을 수행 중인 엘오티베큠을 방문해 연구·산업 현장을 점검하고 협력 방안을 논의했다고 12일 밝혔다. 에기평은 에너지 수요 관리 기술 개발에 약 2000억원 규모의 예산을 지원하고 있다.주관연구개발기관 엘오티베큠은 현 반도체 공정 주력 제품인 배기 속도 분당 3만 리터(L/min)급 시제품의 설계·제작을 진행 중이며, 참여 기관과 협력해 고효율 진공 시스템 요소기술 개발을 진행 중이다. 연구 개발 과제는 기존 진공 시스템 소비 에너지의 20% 절감 추진이다. 이를 통해 질소 사용량 감소 등 운영비용 절감과 탄소배출 감축이 기대된다. 이승재 에기평 원장은 앞으로 확대될 반도체 생산 공정에서 에너지 절감은 필수적으로, 반도체 호황과 맞물려 탄소중립 이행에 크게 이바지할 것으로 기대된다 며 우수한 기술력을 바탕으로 기후위기 극복을 위한 에너지 효율 혁신과 조기 상용화를 적극 지원하겠다 고 말했다. ◎공감언론 뉴시스 crystal@newsis.com