삼성·SK, 반도체 수율 확보 총력…'분석실' 대거 업그레이드

삼성전자와 SK하이닉스가 반도체 공정 개선과 수율 관리 핵심 인프라인 '분석실'을 대거 업그레이드한다. 차세대 검사 및 분석 장비를 도입, 첨단 반도체 수율 확보 역량을 키울 계획이다. 18일 업계에 따르면 삼성전자 DS 부문은 반도체 공정 분석실 고도화 작업에 착수했다. 협력사를 통해 반도체와 웨이퍼 회로 패턴을 확인하거나 결함 여부를 진단하는 차세대 장비 도입을 추진 중인 것으로 확인됐다. 사안에 밝은 업계 관계자는 “기존 반도체 칩(다이)